メーカー：キャノンアネルバ
ヘリウムリークディテクタ
型番：M-212LD-D
仕様
バージョン：コンパクトドライ
インレットポート排気速度（対He、L/s）
MiddleMode：1.0（Middle2）4.0（Middle1）
FineMode：7.0
メインポンプ：排気速度70 L/s
粗引きポンプ
種類：ダイヤフラムポンプ
排気速度：15 L/min
外部インターフェイス：RS-232C・Analog出力（2点）・標準 I/O
表示器：4.1インチカラー液晶
所要電力：AC 100-120 V, 6.3 A
外形寸法（W×H×D）（mm）：435×487×364
質量（kg）：42

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