メーカ：日立製作所
真空ポンプ
型式：VR16L
仕様
型式・段数：回転翼形・2段
排気速度 ：140L/min(50Hz) 168 L/min(60Hz)
到達圧力：10-2Pa台
ポンプ回転速度：1,470min-1(50Hz) 1,770min-1(60hz)
モーター：AC100V 単相0.4kW
運転電流 ：3.2A(50Hz) 2.6A(60Hz)
電源：AC100V 単相15A以上
使用油量：0.9L
給気口外径：ø 22
オイル容量：3.2ℓ
外形寸法（W×D×H）：213×488×380mm
質量：約28kg
使用温度範囲：10～35℃

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